일본 산업 대기업 TOTO가 반도체 장비 부품 사업을 크게 확장하고 있습니다. 이 회사는 가나가와현 지가사키 공장에 새로운 연구개발 시설을 건설하기 위해 170억 엔을 투자한다고 발표했습니다. 공사는 2025년 12월 시작될 예정이며, 완공 목표 시점은 2028년 4월입니다.
이번 사업은 차세대 정전척과 Aerosol Deposition 공정 부품에 중점을 둡니다. 정전척은 고순도 산화알루미늄 세라믹을 사용해 첨단 반도체 제조 과정에서 극한의 진공 및 플라즈마 환경 속 실리콘 웨이퍼를 정전력으로 안정적으로 고정합니다. 새 시설에는 확충된 시제품 생산 라인이 들어서 전 세계 반도체 장비 업체를 위한 제품 개발 주기를 단축할 예정입니다.
이번 확장은 2028 회계연도까지 고급 세라믹 사업에 투입하는 TOTO의 broader 300억 엔 설비투자 계획의 일부입니다. 아울러 TOTO는 후쿠오카현 부젠 공장의 정전척 생산 능력도 확대하고 있습니다. 100년이 넘는 정밀 세라믹 제조 경험을 바탕으로 TOTO는 글로벌 반도체 공급망의 핵심 공급업체로서의 역할을 더욱 강화하고 있습니다.
