노벨 크리스털 테크놀로지는 파인 세라믹스 센터와 협력하여 위상차 현미경을 사용해 베타형 산화갈륨 결정 내부의 결함을 3차원으로 시각화할 수 있는 획기적인 평가 기법을 입증했습니다.
산화갈륨은 차세대 전력 전자용으로 높은 효율과 높은 항복전압 강도를 제공할 수 있는 유망한 초광대역 밴드갭 반도체 소재로 널리 알려져 있습니다. 그러나 결정 성장 단계에서 전위와 같은 구조적 결함을 식별하는 일은 전통적으로 어렵고 시간이 많이 소요되었습니다.
이 새로운 방법론은 소재 전반에 걸친 결함 유형과 공간 분포를 고정밀로 매핑합니다. 간편한 세팅으로 고속 운용이 가능하며, 위상차 현미경 방식은 전체 6인치 웨이퍼를 포함한 넓은 표면 영역을 빠르게 관찰할 수 있게 해줍니다.
3차원 이미징 결과, 대부분의 전위는 약간의 기울기를 가진 채 결정 내부를 곧바로 통과했지만, 다양한 기울기 각도와 국소적인 굴곡 경로와 같은 다양한 결함 거동도 존재하는 것으로 나타났습니다. 이러한 공간적 통찰을 통해 엔지니어는 결정 성장 파라미터를 크게 최적화할 수 있어, 신뢰성 높고 고성능인 산화갈륨 전력 소자의 길이 열립니다.
