1, Ultra-mince / ultra-plat
MEMS / CAPTEUR / IGBT / SAW / SOI / GWSS / Plaquette polie / Cavité, etc;
Traitement ultra-mince tel qu'une épaisseur de 1-10um;
La plaquette de silicium est ultra-amincie à environ 5um;
Plaquette LT ultra-mince à environ 1um;
2, Nettoyage des plaquettes
Particules :≦10ea/WF(≧0.3μm)
Contamination métallique après nettoyage 
3, Meulage des bords
Traitement de prévention des bords en couteau
Taille de plaquette traitée : 4・5・6・8inch
