8インチSiC MOSFETの生産。ハイテク半導体工場内のシリコンウェハー上で。

ROHM、8インチSiC MOSFETの量産を開始

8インチSiC MOSFETの量産は、電気自動車や再生可能エネルギー向けのチップ生産を向上させるROHMの最新の進歩です。この革新について、さらに詳しくご覧ください。
ROHM Semiconductorは、パワーエレクトロニクスにおける重要なマイルストーンとして、8インチのシリコンカーバイド金属酸化膜半導体電界効果トランジスタの製造体制の確立に成功したことを正式に発表しました。この成果は、当初の予定より2年前倒しで達成されたものであり、新エネルギー・産業技術総合開発機構の支援を受けたグリーンイノベーション基金事業を通じて実現されました。
6インチから8インチウェハーへの移行は、1枚あたりの表面積が広がることで1回の生産で製造できるチップ数が大幅に増加するため、半導体業界において極めて重要なステップです。ROHMは、エピタキシャル成長や低オン抵抗製造などの先進技術を統合することで、生産ラインの最適化に成功しました。社内のパワーモジュール評価を通じて検証されたこれらのデバイスの性能は、プロジェクト委員会が定めた厳格な要件を正式に満たしています。
この画期的な成果は、生産効率を高めるだけでなく、電気自動車や再生可能エネルギーインフラ向けの高効率パワーデバイスに対する世界的な需要の急増に対応できる体制をROHMにもたらします。同社が本格生産へ移行する中で、この開発は次世代パワー半導体ソリューションの早期社会実装に向けた निर्ण定的な転換点となります。