日本の総合衛生陶器メーカーであるTOTOは、半導体製造装置部品事業を大幅に拡大します。同社は、神奈川県の茅ヶ崎工場に新たな研究開発施設を建設するため、170億円を投資すると発表しました。着工は2025年12月を予定しており、2028年4月の完成を目指します。
この取り組みは、次世代の静電チャックとエアロゾルデポジション工程用部品に重点を置いています。静電チャックは、高純度アルミナセラミックスを用い、先端半導体製造における超高真空・プラズマ環境下で、静電力によってシリコンウエハーを確実に保持します。新施設には試作製造ラインを拡充して設置し、世界の半導体製造装置メーカー向けの製品開発サイクルを効率化します。
この拡張は、TOTOが2028年度までに先進セラミックス事業へ投じる総額300億円の設備投資計画の一環です。並行して、TOTOは福岡県の豊前工場における静電チャックの生産能力も強化しています。100年以上にわたるファインセラミックス製造の経験を活かし、TOTOは世界の半導体サプライチェーンにおける重要な供給元としての役割を引き続き強化しています。
