SOKA TECHNOLOGY
GaN on Sapphire wafer 2inch PG GaN Gallium nitride Semiconductor Substrate
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GaN on Sapphire Specification:
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Substrate:Sapphire ；
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Diameter: 50.8+0.1mm ;
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Orientation: C-plane 0.2 +0.1° to M-plane ;
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Thickness: 430+15um ;
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Orientation Flat:A-plane 10.25° ;
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OF Length: 16+1 mm；
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Front Side: CMP Ra ≤ 0.2nm；
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Back Side: Lapping (Ra: 0.6 ~ 1.2um)；
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TTV: ≤10um；
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Bow：-10~0um；
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Warp: ≤ 10um ;
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Laser Mark: Yes；
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Epiwafer Structure
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Layer 2:N-GaN 2~3um;
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Layer 1:Buffer 2~3um;
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Layer 0: Substrate;
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Epitaxy Characteristics
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Total Epitaxy Thickness:5~6um;
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Thickness Std<3% ;
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XRD GaN (002): ≤100 arcsec;
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XRD GaN (102)≤100 arcsec ;
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Dislocation density :~ 1e7 cm-2;
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Conductivity:N-type;
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Resistivy:≤0.1 (ohm-cm);
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Surface Roughness:Ra ≤ 0.5 nm;
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Sori≤ 90 um;
The GaN crystal quality of this new GaN-on-Sapphire substrate and the GaN substrate are at a comparable level.
Currently, PQGaN is a high-quality single-layer GaN material that can be used as a substrate. Customers can extend the GaN structure on top of it.
Furthermore, we can also manufacture customer-specified GaN extension structures on PQGaN substrates on your behalf if needed.
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