Nagoya University and Partners Succeed in Prototyping 6-inch P-type SiC Wafers via Solution Growth Method

名古屋大学と連携企業が溶液成長法により6インチP型SiCウェハーの試作に成功

Oxide Power Crystal、Mipox、UJ-Crystal、A-Crystal、産業技術総合研究所(AIST)、名古屋大学で構成される研究グループは、溶液成長法と高度なシミュレーション技術を組み合わせて、6インチのp型および6インチと8インチのn型シリコンカーバイド(SiC)ウェハの試作に成功しました。
この成果は、これまで困難であったp型SiCウェハの大口径化の実現という大きな突破を示すものであり、次世代の超高電圧絶縁ゲートバイポーラトランジスタ(IGBT)の実用化を一層現実に近づけるものです。
研究では、シミュレーションによる高品質結晶の育成と最適条件の確立、ならびに量産プロセスの開発が行われました。本プロジェクトは国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構(NEDO)の支援を受けています。
p型SiCウェハのスケールアップの成功はパワーエレクトロニクスの発展にとって極めて重要であり、省エネルギー技術や将来の電力システムに不可欠な、より高効率で高電圧のデバイスの実現を可能にします。